Riber推出MBE 8000用于批量生產(chǎn)外延片

  位于法國伯宗的分子束外延(MBE)系統(tǒng)和蒸發(fā)源提供商Riber S.A.，宣布其MBE 8000生產(chǎn)平臺已獲得美國領(lǐng)先外延片制造商的最終認(rèn)證。

  據(jù)稱，MBE 8000的生產(chǎn)率是市場上現(xiàn)有產(chǎn)品的兩倍，還具有出色的性能。MBE技術(shù)靈活，MBE 8000能夠滿足所有化合物半導(dǎo)體不斷增長的市場，包括垂直腔表面發(fā)射激光器(VCSEL)、晶體管、傳感器等，而這些市場在均勻性、再現(xiàn)性和穩(wěn)定性方面需要高水平的性能。

  該系統(tǒng)能夠批量生長8片150毫米(6英寸)或4片200毫米(8英寸)晶圓，產(chǎn)能比現(xiàn)有產(chǎn)品提高50%。由于單元設(shè)計(jì)、系統(tǒng)幾何和工藝控制相同，因此可確保在最短的時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)工藝轉(zhuǎn)移，并且Riber機(jī)器易于操作。

  最后的鑒定步驟驗(yàn)證了MBE 8000在工藝、穩(wěn)健性、穩(wěn)定性、人體工程學(xué)和控制方面的性能。例如，在VCSEL型結(jié)構(gòu)上測量0.8–8 μm顆粒時(shí)，30次運(yùn)行的缺陷密度低于50個顆粒/cm²。