1993年，日本首臺封閉管MFX誕生（濱松搞的

  ICC訊 步入20世紀90年代，X射線檢測系統(tǒng)如雨后春筍般在全球各地涌現(xiàn)，其核心——X射線源，也悄然成為眾人矚目的焦點。

  盡管濱松光子在軟X射線管技術(shù)上有所積累，但面對高壓微焦點X射線管(MFX)這個全新的挑戰(zhàn)，濱松就像個新手小白，既興奮又緊張。面對這一挑戰(zhàn)，整個條紋管制造流程的員工被緊急召集，共同投入到這場研發(fā)戰(zhàn)役中。他們首先深入研究了競爭對手的產(chǎn)品，盡管在電子軌跡設(shè)計方面還是個門外漢，但他們憑借著堅韌不拔的精神，逐步克服了模擬上的困難。1993年，經(jīng)過無數(shù)個日夜的奮戰(zhàn)，濱松光子終于成功研發(fā)出日本首臺封閉型MFX——L5486。然而，由于規(guī)格上的不足，這款產(chǎn)品并未在市場上引起太大的波瀾。但濱松并未氣餒，他們根據(jù)客戶反饋，不斷對產(chǎn)品進行改進。還記得那時候，經(jīng)理鈴木賢次提議給MFX穿上醒目的紅色外套，就像濱松人對創(chuàng)新的執(zhí)著追求一樣，熱情如火，永不熄滅。

圖1 70kV 封閉管MFX L5486

       為了在市場上站穩(wěn)腳跟，濱松光子決定自研出更高電壓的X射線源。1996年，他們成功推出了80千伏X射線源L6731，并創(chuàng)新性地內(nèi)置了微計算機，實現(xiàn)了自動預熱功能。這一創(chuàng)新之舉，讓濱松的產(chǎn)品在市場上逐漸獲得了認可。

  隨著市場競爭的加劇，濱松光子始終保持著以客戶為中心的思想。當一位客戶提出需要一款新的130千伏X射線源用于電路板檢測時，濱松的研發(fā)團隊就像接到了“超級任務(wù)”，再次迎難而上。他們深知，這款產(chǎn)品的成功，不僅關(guān)乎公司的未來發(fā)展，更關(guān)乎客戶對于高質(zhì)量檢測的需求。因此，他們對整個配置進行了全面審查，包括管體、電源和控制板，最終成功研發(fā)出了L9181，這款產(chǎn)品的設(shè)計和功能至今仍是封閉型MFX的標桿。

圖3 130kV 封閉管 MFX L9181

  除了滿足客戶的定制化需求，濱松光子還不斷追求技術(shù)的突破。他們致力于減小MFX的焦點尺寸，以提高檢測精度。1997年，他們實現(xiàn)了世界上最小的5微米焦點尺寸;2000年，他們開發(fā)出了開放型MFXL8321，最小分辨率降低至0.5微米。

圖4 160kV 開放管 MFX L8321-01

  當濱松光子初次涉足MFX領(lǐng)域時，他們的主要目標是電路板檢測。然而，隨著時間的推移，這些MFX產(chǎn)品逐漸展現(xiàn)出了更廣泛的應用潛力，不再局限于電路板，而是開始挑戰(zhàn)更厚重的檢測對象，如鋁合金壓鑄件和IGBT(絕緣柵雙極型晶體管)內(nèi)部的空洞。這些新的應用場景對MFX提出了更高的要求，需要它們具備長時間在線檢測的穩(wěn)定性和可靠性。為了滿足這些需求，濱松光子決定對現(xiàn)有的L8121-03型號進行升級。這款MFX產(chǎn)品原本就擁有150 kV的管電壓，經(jīng)過一系列改進，包括提升耐壓性能、設(shè)計新型高壓電源以及調(diào)整控制單元的輸入電壓，濱松光子在2011年8月成功推出了L12161-07型號。這款升級版的MFX產(chǎn)品迅速在鋁合金壓鑄件檢測和IGBT空洞檢測等領(lǐng)域獲得了廣泛應用。

  圖5 150kV 封閉管 MFX L12161-07

  不僅如此，L12161-07在問世十多年后，仍然保持著強大的生命力。隨著鋰離子電池市場的蓬勃發(fā)展，這款MFX產(chǎn)品也開始被用于鋰離子電池的檢測。150kV的管電壓使得L12161-07在鋰離子電池檢測領(lǐng)域表現(xiàn)出色，至今仍受到許多客戶的青睞。后續(xù)濱松繼續(xù)推出更高性能的MFX產(chǎn)品。L14351封閉型MFX和L12721開放型MFX分別實現(xiàn)了180 kV和300 kV的最大管電壓，為更大尺寸的檢測對象提供了可能。

  圖6 180 kV MFX L14351-02

  鑒于濱松光子在MFX研發(fā)上的那股子“拼命”勁兒，MFX產(chǎn)品終于在2002年第十五屆《中日新聞》產(chǎn)業(yè)技術(shù)獎中大放異彩，一舉奪得《中日新聞》獎，這可是日本中部工業(yè)界的“奧斯卡”!而到了2010年，L10711開放型MFX更是憑借那0.25微米的最小分辨率，成功拿下國際光學與光電子學會(SPIE)的棱鏡獎(Prism Award)，簡直是給“細節(jié)控”們送上了一枚大大的勛章。

圖7 濱松MFX獲獎團隊合影

      濱松人靠著那股子“不撞南墻不回頭，撞了南墻還要破墻走”的堅韌，以及對技術(shù)革新“愛不夠，求不?！钡臒崆椋粌H讓X射線源制造領(lǐng)域從“空白頁”變成了“滿頁彩”，更是在全球范圍內(nèi)樹立了行業(yè)的標桿。

圖8 濱松MFX產(chǎn)品一覽

圖9 濱松中國NDT實驗室能力介紹

      自1953年創(chuàng)立以來，濱松光子已走過了超過70載的歷程，如今正穩(wěn)步朝向成為百年企業(yè)的宏偉目標邁進。在慶祝70周年里程碑之后，我們滿懷敬意與喜悅之情，特此推出系列紀念文章，旨在與攜手同行在“光之大道”上的每一位伙伴，共同回顧、分享濱松的歷程、愿景與實踐。