ICCSZ訊 芯光學院,是先導院成立的培訓業(yè)務品牌,面向全國微電子和光電行業(yè)領域進行人才培養(yǎng),致力于為國家核心技術行業(yè)提供源源不斷的人才儲備。我們的目標,是打造西北地區(qū)實訓基地,讓更多進入這個行業(yè)的新人能夠在培訓中提升實操技能。我們擁有近200名國內(nèi)外專家智庫團隊,與國內(nèi)外專業(yè)平臺聯(lián)合辦學,充分有效了解行業(yè)最新技術,提升行業(yè)認知,可以為學員提供精準和專業(yè)的輔導,打通職場晉升之路。
活動主題
名家講堂-集成電路先進光刻技術與版圖設計優(yōu)化
主辦單位
工業(yè)和信息化部人才交流中心(MIITEC)
陜西光電子集成電路先導技術研究院
承辦單位
IC智慧谷
時間地點
時間:2018年10月10日-11日(周三-周四)
地點:陜西光電子集成電路先導技術研究院(陜西省西安市畢原一路)
支持媒體
訊石光通訊網(wǎng)、光纖在線、芯師爺、芯司機、芯通社、芯智訊、芯片超人、半導體行業(yè)觀察、半導體行業(yè)聯(lián)盟、光刻人的世界、IC咖啡、芯榜、半導體圈、中國半導體論壇、EETOP、矽說等。
專家介紹
韋亞一
中國科學院微電子研究所、博士生導師
中組部第八批“千人計劃”入選者,中國科學院微電子研究所研究員,博士生導師;1998年畢業(yè)于德國Stuttgart大學/馬普固體研究所,獲博士學位,師從諾貝爾物理獎獲得者Klaus von Klitzing;先后在美國能源部橡樹嶺國家實驗室、美國英飛凌公司紐約研發(fā)中心、美國格羅方德公司紐約研發(fā)中心工作;由于在193nm浸沒式
光刻技術上的開創(chuàng)性貢獻,于2009年受SPIE邀請出版專著“Advanced processes for 193nmimmersion lithography”,該書已被美國多所高校和研究機構(gòu)作為研究生的教材和主要參考書;發(fā)表了70篇的專業(yè)文獻并持有多項美國專利。
韋亞一博士長期從事半導體光刻領域設備、材料和制程研發(fā),先后參與或主持了從180nm一直到10nm節(jié)點的光刻工藝研發(fā),具有豐富的先進光刻研發(fā)經(jīng)驗,取得了多項核心技術。
2013年7月回國工作,首先作為項目首席科學家主持了國家02重大專項“300mm晶圓勻膠顯影設備和光刻工藝研發(fā)”(沈陽芯源微電子設備有限公司);在中科院微電子所建立了計算光刻課題組,從事20nm以下技術節(jié)點的光源-掩模協(xié)同優(yōu)化(SMO)和光學鄰近效應修正(OPC)研究;韋亞一的研究成果被廣泛應用于國內(nèi)FinFET和3D NAND的量產(chǎn)工藝中;2016年7月在科學出版社出版了“超大規(guī)模集成電路的先進光刻理論與應用”一書;2017年3月計算光刻課題組升格為計算光刻研發(fā)中心,并被北京市授予中關村開放實驗室,韋亞一博士任中心和開放實驗室主任。
講堂大綱
1.光刻技術相關設備及材料概
1.1
光刻技術概述
1.2
光刻技術相關設備
1.3
光刻技術相關材料
1.4光刻工藝的設定與監(jiān)控
2.計算光刻
2.1光刻成像模型概述
2.2傳統(tǒng)的分辨率增強技術
2.3光源-掩模聯(lián)合優(yōu)化技術
2.4光學鄰近效應修正技術
3.設計與工藝聯(lián)合優(yōu)化(DTCO)技術
3.1DTCO 的概念和分類
3.2基于先進
光刻技術的DTCO 與基于壞點處理的DTCO
3.3完整的DTCO 流程及在工業(yè)中的應用
報名方式
1.請使用微信掃描下方二維碼,在線報名:
2.郵件報名
報名回執(zhí)表下載鏈:http://www.icplatform.cn/form
填寫報名回執(zhí)表并發(fā)送Word電子版至“芯動力”人才計劃郵箱:icplatform@miitec.cn
回執(zhí)表文件名及郵件標題格式為:“報名+第77期+單位名稱+人數(shù)?!?nbsp;
注冊費用
1. 注冊費:3800元(2天)
注:費用含授課費、場地費、資料費、活動期間餐飲,不含學員交通、住宿等費用(學員自理)。
在線報名請選擇“普通學員注冊”通道
2. 芯動力合作單位學員、中科創(chuàng)星投資服務企業(yè):3300元
在線報名請選擇“合作單位學員注冊”通道
3.付款與開票
國信芯世紀南京信息科技有限公司為本期名家講堂開具發(fā)票,發(fā)票內(nèi)容為培訓費。請于2018年10月10日前將注冊費匯至以下賬戶,并在匯款備注中注明款項信息(第77期+單位+參會人姓名)。
4.付款信息
戶 名:國信芯世紀南京信息科技有限公司
開戶行:中國工商銀行股份有限公司南京浦珠路支行
帳 號: 4301014509100090749
或請攜帶銀行卡至活動現(xiàn)場,現(xiàn)場支持 POS 機付款。
報名截止日期:2018年10月9日12:00
活動具體咨詢:
張志軍18009256681(微信同號)