以色列Tower半導(dǎo)體將研發(fā)光電集成代工工藝，實現(xiàn)硅上集成激光器

  ICC訊 以色列Tower半導(dǎo)體將在美國國防高級研究計劃局(DARPA)“通用微尺度光學(xué)系統(tǒng)激光器”(LUMOS)項目提供的部分資金支持下，研發(fā)可制造硅上集成激光器的光電代工工藝。Tower公司主要提供高價值模擬半導(dǎo)體代工服務(wù)。

  在硅上集成激光器的好處包括增加激光器的密度、減少激光器和光電子器件之間的耦合損耗、減少所需器件及極大簡化封裝方案。新的工藝將結(jié)合高性能Ш-V激光二極管與Tower公司的PH18硅光電平臺。當(dāng)與Tower的無源和有源硅光電器件(如硅和氮化硅波導(dǎo)、馬赫曾德爾調(diào)制器和Ge光電二極管)相聯(lián)合集成時，將使今天無法從批量半導(dǎo)體或光子學(xué)代工廠獲得的新產(chǎn)品成為可能。

  待新工藝準(zhǔn)備就緒后推出多項目晶圓運行(MPW)。工藝開發(fā)包(PDK)的初版預(yù)計將于2021年推出，包括激光器和放大器。研究成果將成為DARPA的LUMOS項目的一部分。

  LUMOS項目旨在將高性能激光器引入先進(jìn)的光子學(xué)平臺，具體包括三個不同的技術(shù)領(lǐng)域，來解決多個商業(yè)和國防應(yīng)用。

  1.將高性能激光器和光放大器帶入美國國內(nèi)先進(jìn)的光電子制造代工廠，研究成果將以MPW形式提供給研發(fā)團(tuán)隊。研究團(tuán)隊：Tower半導(dǎo)體公司和紐約州立理工學(xué)院。

  2.為微波應(yīng)用中的快速光子學(xué)平臺上開發(fā)高功率激光器和放大器。研究團(tuán)隊：超低損耗技術(shù)公司、Quintessent、哈佛大學(xué)和桑迪亞國家實驗室。

  3.為可見光譜應(yīng)用開發(fā)精確的激光器和集成光子電路，目標(biāo)是在一個前所未有的光譜范圍內(nèi)實現(xiàn)“按設(shè)計所需設(shè)計波長”。研究團(tuán)隊：NexusPhotonics、耶魯大學(xué)、加州理工學(xué)院、桑迪亞國家實驗室和科羅拉多大學(xué)博爾德分校。