首個歐洲絕緣體上鈮酸鋰PIC平臺

  ICC訊 ELENA項目承諾通過開發(fā)第一個基于絕緣體上鈮酸鋰 (LNOI) 的光子集成電路 (PIC) 平臺，并為LNOI技術(shù)建立第一個開放式代工服務，可以給整個光子學行業(yè)帶來益處。LNOI是一種新興的電光非線性PIC平臺，其增強性能和新功能可應用于超高速電信網(wǎng)絡、光信號處理、可編程PIC、傳感和光譜、激光雷達（LiDAR）、量子信息處理和量子計算等領(lǐng)域。ELENA是一項歐盟委員會Horizon 2020計劃資助的合作研究和創(chuàng)新工作。

  什么是ELENA？

  ELENA是基于鈮酸鋰歐洲電光和非線性PIC平臺（European electro-optic and nonlinear PIC platform based on lithium niobate）項目的簡稱。該項目聯(lián)盟目標是以硅襯底薄膜形式再次開發(fā)一種傳統(tǒng)知名的光子學材料 — 鈮酸鋰，以此作為一個標準PIC平臺，并從小型化、降低成本和可擴展的PIC制造中受益。

  ELENA將是世界首個基于工藝設計套件 (PDK) 庫的LNOI技術(shù)開放存取PIC芯片代工廠。該平臺將以合適的價格向光子學行業(yè)與研發(fā)的所有感興趣的利益相關(guān)者開放。ELENA也計劃開發(fā)一套完整的歐洲工業(yè)LNOI技術(shù)供應鏈，包括LNOI晶圓制造、高良率制造工藝代工服務、包含PDK的設計軟件以及 LNOI PIC的封裝和接口。合作伙伴包括通過開發(fā)面向電信、量子技術(shù)和微波光子應用PIC來展示技術(shù)和可用成果的終端用戶。

  LNOI – 新一代PIC有前景的材料

CSEM LNOI芯片

  LNOI是PIC最有前景的新型平臺之一，具有一系列獨特有趣的光學特性，例如：高電光系數(shù)、高固有二階和三階非線性以及大透明窗口（350–5500nm）。鈮酸鋰單晶薄膜硅襯底鍵合的研究也給探索鈮酸鋰在PIC領(lǐng)域的優(yōu)勢開辟了一條新途徑。

  目前，除LNOI以外，歐洲基于硅 (Si)、氮化硅 (SiN) 和磷化銦 (InP)等其他光子材料的PIC平臺具有不同的功能。LNOI可成為這類平臺技術(shù)的補充，因為它在廣泛的波長范圍內(nèi)（從可見光到中紅外）具備最新改進的能力，包括具有極低工作電壓(Vπ<1v)的超高速電光調(diào)制器(>100 GHz)、快速光開關(guān)、快速可調(diào)諧諧振器和激光器以及芯片非線性波長轉(zhuǎn)換。新功能將使量子技術(shù)、電信、激光雷達和傳感等廣泛的應用受益。

  完整的歐洲供應鏈

  除了高產(chǎn)量的制造工藝和PDK庫外，ELENA計劃為LNOI平臺搭建一套完整的歐洲供應鏈，以支持其工業(yè)規(guī)模的擴大。 這包括：

  建立以工業(yè)規(guī)模生產(chǎn)150mm光學級LNOI晶圓的工藝；

  開發(fā)可靠、靈活的封裝解決方案，提供LNOI芯片與光纖耦合以及與其他PIC平臺集成的接口；

  開發(fā)面向電信、量子技術(shù)和微波光子不同用例的四個PIC原型設計來展示該技術(shù)并驗證結(jié)果。

  合作伙伴

  ELENA項目由歐盟委員會的H2020計劃資助?？傤A算為500萬歐元，項目周期為42個月，從 2022年1月1日至2025年6月30日。ELENA由瑞士電子與微技術(shù)中心(CSEM)負責領(lǐng)導和協(xié)調(diào)。該項目聯(lián)盟由三個領(lǐng)先的研究機構(gòu)、四家大型公司和三個中小公司組成，具備實現(xiàn)目標所需的所有能力。項目網(wǎng)站: www.project-elena.eu

  十家合作參與者分別是：瑞士電子與微技術(shù)中心(CSEM)、法國SOITEC SA、德國VPIphotonics GmbH (VPI)、瑞士蘇黎世聯(lián)邦理工學院（ETHZ）、德國Vanguard Automation GmbH（VA）、法國泰利斯公司（THALES SA）、法國III-V LAB、德國羅森伯格（Rosenberger）、法國L-up SAS、法國原子能委員會電子與信息技術(shù)實驗室(CEA-LETI)。